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產(chǎn)品中心

Product Center

小型真空探針臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2023-12-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1804
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品牌鄭科探

    小型真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

  小型真空探針臺(tái)的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀察,使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測(cè)。

實(shí)驗(yàn)腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

內(nèi)腔體尺寸

φ140x180

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

觀察窗尺寸

φ75

加熱臺(tái)尺寸

50x50

加熱臺(tái)溫度

室溫-350℃可調(diào)

加熱臺(tái)溫控誤差

±1

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口

KF25

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

進(jìn)氣閥門

高精密針閥

抽氣閥門

KF25真空擋板閥

壓力表

機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號(hào)電極

4個(gè)

探針數(shù)量

4個(gè)

探針材質(zhì)

φ1.5鎢針   其他材質(zhì)可選

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.1MM

Y軸移動(dòng)行程

13MM    ±6.5mm

Y軸控制精度

≤0.05MM

Z軸移動(dòng)行程

13mm   ±6.5mm

Z軸控制精度

≤0.05MM

信號(hào)電極

電極芯

1

電極引出接頭

BNC母頭

電極引出線

銅網(wǎng)信號(hào)屏蔽線

BNC引出接頭

X4

額定電流

≤5A

額定電壓

≤220V

電極芯直徑

φ1mm

接觸電阻

≤5MΩ

絕緣電阻

≥1000 MΩ

外殼接地

電子顯微鏡

電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請(qǐng)和客服溝通



做氣體傳感器的客戶可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統(tǒng)


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