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等離子清洗機操作介紹

更新時間:2023-05-25點擊次數(shù):1927

1.jpg

 

真空度顯示:顯示腔體內部的真空度數(shù)值

 

運行程序段:分為3個步驟,綠色表示運行狀態(tài)

①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣

 

進氣流量顯示:通過調節(jié)A、B流量調節(jié)閥調節(jié)氣體進入腔體的大小,在兩個圖標顯示,上部顯示為A流量,下部顯示為B流量

 

時間:顯示設備清洗時間

 

功率:顯示當前設備清洗是清洗功率

 

設備溫度:顯示當前射頻電源設備溫度

 

放氣狀態(tài):顯示當前放氣閥開啟或關閉狀態(tài)

 

清洗時間:點擊可設置設備運行清洗時間

 

清洗功率:點擊可設置設備運行清洗功率

 

開始運行:點擊可切換設備開始運行或者停止運行

 

參數(shù)設置:非專業(yè)人士請勿調節(jié),如有需要請聯(lián)系廠家人員

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射頻電源開關:按下產品前面板左邊的電源按鈕  此時產品通電啟動 液晶顯示屏點亮, 顯示啟動界面 2 秒,然后進入相應工作狀態(tài)顯示界面。在按一下則關閉射頻電源。

 

功率調節(jié)旋鈕射頻功率調節(jié),旋轉旋鈕時針 旋轉,旋轉。

射頻出的開啟和關閉面板上的射頻輸出 開藍色按鈕 打開射頻出,同時定時器開始倒計時; 按下射頻輸出 關紅色按鈕】 關閉射頻輸出。

 

 

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調節(jié)功率設旋鈕:顯示Wf"的數(shù)值會發(fā)相應的變,此 時的數(shù)值為定值;當按下射頻輸出 開藍色按鈕射頻,RF OFF"將變成Wr"Wf 前的數(shù)也會0 ,當然 Wr 數(shù)值據(jù)發(fā)生相應的,的后端負50 歐時Wr 的數(shù)值將0,輸出反射功;則,Wr 數(shù)值將根據(jù)的反值。

 

手動匹配器通過調節(jié)MATCH區(qū)TUNELOAD現(xiàn)匹配器的手 動匹,減低0W。

4.jpg

 

MATCH             指示                      】指

 調節(jié)TUNELOAD旋鈕 調節(jié)TUNEWf 數(shù),明調節(jié),反的方調節(jié);Wf 數(shù)值到達置最大調個旋,現(xiàn) Wr 數(shù)低; b調節(jié)【LOAD鈕的理。(通過兩個旋鈕調節(jié)觀察Wf值根據(jù)旋鈕調節(jié)變大  Wr值根據(jù)旋鈕調節(jié)變小)

 

 

 

 

2、軟件語言選擇

按下MENU】鍵前面的【UPDOWN】鍵

選中1 Lang./"MENU鍵確,English"

5.jpg



"MENU】鍵語言

 

 


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